高性能復雜光學系統(tǒng)的偏振光傳輸分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、高性能復雜光學系統(tǒng)，隨著技術和工藝的發(fā)展而變?yōu)榭赡?，隨之也出現了新的挑戰(zhàn)。如高數值孔徑（Numerical Aperture，NA）光刻物鏡通過縮短工作波長、浸液技術以及分辨率增強技術，正由32nm節(jié)點向22nm節(jié)點發(fā)展，隨著性能參數向理論臨界值的逼近，傳統(tǒng)標量分析法精度不再足夠，必須考慮光的矢量本質，采用矢量分析法。
　　本論文首先介紹了對高性能復雜光學系統(tǒng)進行偏振分析的研究意義及國內外研究現狀，接著系統(tǒng)地總結了光學系統(tǒng)的偏振像

2、差基本理論，包括偏振像差函數及其計算方法。在此基礎上，以高NA光刻系統(tǒng)和大型激光系統(tǒng)為例，概述性地介紹了實際系統(tǒng)中偏振像差及其控制方法。文中還介紹了相關的光學軟件功能模塊的程序設計工作及其達到的分析效果。最后選取一實際高NA光刻投影物鏡進行詳細的分析，分析中考慮了鍍膜、材料吸收作用及偏振照明使分析結果可靠性提高。利用光學軟件計算了系統(tǒng)中各光學界面的偏振參數，如透過率、位相、二次衰減和延遲等，以分析偏振對系統(tǒng)傳輸性能和成像性能的影響，并根

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