集成電路的ESD防護(hù)技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、靜電放電(Electronic-Static Discharge,ESD)是IC(Integrate Circuit)生產(chǎn)制造過程中非常普遍的現(xiàn)象,因而ESD保護(hù)電路也是集成電路設(shè)計的重要部分,它直接影響IC的性能和使用壽命?，F(xiàn)在ESD防護(hù)面臨著更大的挑戰(zhàn),不但需要滿足ESD防護(hù)的等級,還需要考慮ESD防護(hù)網(wǎng)絡(luò)和核心電路之間的相互作用。
　　本文對集成電路的ESD防護(hù)技術(shù)進(jìn)行了研究。本文主要分為五個部分:第一部分是前言,介紹了本文

2、的研究背景及意義,同時介紹了有關(guān)集成電路(IC)的ESD防護(hù)技術(shù)國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀;第二部分對ESD的原理和ESD的防護(hù)器件進(jìn)行了論述,分別介紹了ESD的成因、ESD的失效模式及失效機(jī)理,ESD的四種基本模型,并對ESD基本防護(hù)器件進(jìn)行了一定的分析;第三部分是基于SCR的集成電路的靜電防護(hù)技術(shù),在本章主要分析了SCR的工作原理,然后介紹了SCR器件的改進(jìn)措施,最后對對稱式SCR防護(hù)器件研究與測試驗(yàn)證。第四部分是全芯片的防護(hù)設(shè)計,主要分析了

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