微尺度壓電振動發(fā)電機構動力學分析與微電源設計.pdf

1、微機械加工、微電子以及無線傳感等技術的迅速發(fā)展，使得射頻識別系統(tǒng)、嵌入式系統(tǒng)、無線傳感器以及它們形成的無線傳感網絡廣泛地應用于日常生活中。這類微器件的功耗越來越低，能夠低至微瓦量級，這就要求相應的供電部件具有體積小、集成度高、壽命長甚至是無人看管、無需更換等特點。傳統(tǒng)的化學電池供電方式由于存在體積和質量較大、供能時間有限等缺點，已經無法滿足這些微器件的供能要求?；贛EMS技術制備的壓電振動發(fā)電機構能夠與各種微器件集成加工在一起，實現(xiàn)微

2、器件的集成化和自供能，將自然界廣泛存在的各種振動能量轉換為電能，為微電子器件的持久供電提供一種有效的解決方案。因此，基于微尺度的壓電振動發(fā)電機構的微電源正受到國內外許多研究小組的關注和重視。
　　本文圍繞面向MEMS技術的微壓電振動發(fā)電裝置及其應用展開了研究。在分析國內外研究工作的基礎之上，建立了微壓電振動發(fā)電裝置的機電耦合模型，分析了各個結構參數(shù)以及尺度效應對系統(tǒng)輸出性能的影響，并對仿真結果與實驗數(shù)據(jù)進行了分析討論。
　　

3、首先，建立了微壓電振動發(fā)電裝置的“彈簧-質量塊-阻尼-壓電”機電耦合模型，但是“彈簧-質量塊-阻尼-壓電”機電耦合模型沒有考慮尺寸的縮小對系統(tǒng)帶來的影響，在此基礎之上以偶應力理論為基礎，建立了微系統(tǒng)具有尺度效應的理論模型。
　　其次，對微尺度的壓電振動發(fā)電機構模型進行動態(tài)特性分析，分析了結構參數(shù)以及尺度效應對系統(tǒng)的影響，推導出了微系統(tǒng)的輸出電壓表達式，利用MATLAB對系統(tǒng)的輸出特性進行了仿真，仿真結果與實驗數(shù)據(jù)對比，對比結果說明