一種新型超精密光學元件瑕疵檢測裝置開發(fā).pdf

1、精密光學元件表面質量的高低對激光系統(tǒng)的運行有極其重要的影響，目前對光學元件表面瑕疵的檢測，多采用的是人眼觀察的方法，此方法存在效率低，檢測結果跟人的經(jīng)驗有直接的關系，存在檢測結果不穩(wěn)定的現(xiàn)象，同時該激光系統(tǒng)中光學元件種類繁多，每種光學元件又有不同的規(guī)格，若用人眼檢測，不僅效率低同時也會帶來檢測質量參差不齊的現(xiàn)象，因此需要一種新的自動化程度高的檢測裝置代替人眼檢測。
　　 考慮到光學元件處于超潔凈環(huán)境，本裝置采用機器視覺的方式對光

2、學玻璃表面質量檢測，以防止二次污染?？紤]到光學元件的規(guī)格，本裝置采用線陣CCD(charge coupled device，電荷耦合器件)相機相對光學玻璃運動的方式完成采樣；采用自行設計的玻璃夾具固定光學元件以及三維步進電機帶動的平移臺實現(xiàn)相機在笛卡爾坐標系內的移動，最終實現(xiàn)線陣相機對夾具上的光學元件的對焦以及掃描，完成采樣。采樣完成后，圖像工作站對采集的圖像進行拼接等處理，最終給出光學玻璃潔凈度等級。
　　 本文的主要工作如下

3、：
　　 ①探討了圖像采集的關鍵技術，設計出基于機器視覺的檢測裝置，完成硬件部分的設計以及相關分析，包括相機、光源的選擇以及整個裝置的結構設計。
　　 ②用于采用的是線陣相機，每次掃描是的圖像是幾個像素寬的小圖像，待整個光學元件掃描后，需要對眾多小圖像拼接，組合成一幅完整的光學元件圖像，以便下一步的處理，在本裝置中，采用的是絲杠精確定位和試驗驗證的的方法，完成圖像的拼接。
　　 ③采用canny算子和snake模