光耦合器的模擬及設計和光波導器件的制作工藝研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文第一部分是光耦合器的模擬與設計.光耦合器是光網絡中的重要器件,在WDM系統(tǒng)中,光耦合器幾乎無所不在.該論文對各種平面波導型耦合器:MMI、分支波導、定向耦合器和Mach-Zehnder進行了模擬和優(yōu)化設計.首先建立了光束傳播法(BPM)的模擬平臺,解決了邊界問題.利用建立的三維BPM平臺設計了漸變折射率波導的MMI耦合器.在設計Y分支波導結構時,考慮常規(guī)工藝誤差的影響,引入多模波導作為Y分支彼導結構的過渡區(qū),利用參數(shù)空間搜索法來設計

2、結構參數(shù),實現(xiàn)低損耗的Y分支結構.運用超模解方法,比較了定向耦合器計算模型(二維模型和三維模型)對計算結果的影響,指出由于等效折射率法的精度問題,應用二維計算模型設計結果與實際器件的性能指標有著較大的差別,因此定向耦合器的設計應選用三維計算模型.第二部分是對光波導器件制作工藝的研究.工藝掌握的成熟程度直接關系到能否制作出合格的平面波導器件,從而實現(xiàn)理論設計的結果.該論文中具體研究的工藝內容有:光刻的工藝參數(shù)研究;剝離法光刻工藝的研究;用

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