熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)傳感芯片的研制.pdf

1、空氣流量傳感器是汽車電子控制燃油噴射裝置中決定系統(tǒng)控制精度的重要部件之一，又稱空氣流量計(jì)。它是汽車電子配件中兩個(gè)尚未能實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化的部件之一。研制熱式氣體質(zhì)量流量傳感器芯片，目的就是通過(guò)實(shí)驗(yàn)，掌握厚膜電路工藝，以期可以制作出性能優(yōu)良的產(chǎn)品來(lái)取代進(jìn)口產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)國(guó)有化。
　　 本文對(duì)汽車空氣質(zhì)量流量計(jì)綜合分析各種工藝與技術(shù)進(jìn)行了探討，詳盡地闡述了傳感器工作的原理。采用厚膜電路工藝制作熱膜式氣體流量傳感器，重點(diǎn)放在熱式氣體流量計(jì)傳感器芯

2、片的研制上。從芯片的結(jié)構(gòu)和電路設(shè)計(jì)、熱敏電阻材料和導(dǎo)電銀漿的選取、熱敏電阻結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和制備、燒結(jié)工藝對(duì)熱敏電阻的影響和低熱導(dǎo)基板材料的研制等方面進(jìn)行了詳盡的理論分析和反復(fù)的實(shí)踐驗(yàn)證。本文對(duì)兩種結(jié)構(gòu)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)對(duì)比：一是一體式結(jié)構(gòu)；二是分體式結(jié)構(gòu)。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，設(shè)計(jì)一體式結(jié)構(gòu)比分體式結(jié)構(gòu)有更好的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，但基板材料的導(dǎo)熱能力在熱影響方面存在著較大問(wèn)題。而采用分體式結(jié)構(gòu)大大減弱了發(fā)熱電阻的熱影響，且響應(yīng)速度高，靈敏度好。測(cè)量精度完全達(dá)到了要求，卻