基于Petri網的半導體爐管區(qū)動態(tài)調度研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、爐管區(qū)批調度(Batch Scheduling)是復雜多重入的半導體晶圓制造系統車間層調度與控制研究的一個熱點。本文結合國內外已有的研究成果,針對爐管區(qū)批處理過程的動態(tài)調度問題進行了系統和深入的研究。本文所做的主要工作為：(1)以爐管區(qū)為研究對象,應用遞階的面向對象的混合Petri網(Object-oriented Hybrid Petri Nets ,OHPNs)建模方法,將爐管區(qū)分為物理對象層、制造單元層、生產區(qū)層三層結構,采用面向

2、對象的方法對制造資源與設備進行混合Petri網的物理對象建模；然后按照生產區(qū)內各制造單元中的設備與資源配置構建制造單元的OHPNs子網模型；進而將這些制造單元子網按照一定工藝流程要求關聯,構建了整個爐管區(qū)完整的OHPNs模型。(2)在此基礎上,提出基于OHPNs模型的爐管區(qū)動態(tài)調度體系,由爐管區(qū)的OHPNs模型仿真器、控制器、調度規(guī)則庫、數據庫系統等組成?？刂破鞅O(jiān)測爐管區(qū)內外部的實時變化,反饋至數據庫系統。延遲時間高于預定值時,OHPN

3、s仿真器觸發(fā)動態(tài)重調度,調用動態(tài)調度算法,依據當前的系統特征生成新的調度。(3)針對基于Petri網的單臺爐管調度問題,提出了以加權E/T值(Earliness/Tardiness)最小化為優(yōu)化目標的加權成本率啟發(fā)式算法WCRH(Weighted Cost Rate Heuristic)。應用于基于Petri網的爐管區(qū)動態(tài)調度體系,仿真結果證明單機的動態(tài)調度體系在延遲發(fā)生時能夠及時調整調度方案,降低加權E/T值。(4)針對基于Petri

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