基于可變光柵微加速度傳感器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文提出了一種基于可變衍射光柵的微加速度傳感器，從航空航天系統(tǒng)對加速度計高精度、小型化、高可靠性等方面要求出發(fā)設計，文中提出的微加速度計以可變衍射光柵作為傳感器件，本文從原理出發(fā)進行其相位差運算和衍射光強運算，得到其對位移和加速度的高靈敏性。同時介紹了加速度傳感質量塊結構的設計，利用ANSYS有限元分析軟件仿真驗證，得到體硅結構的質量塊具有大的動態(tài)范圍，同時進一步結構優(yōu)化，使其在具有高的靈敏度條件下可達到較高的動態(tài)范圍。質量塊的加工工藝

2、主要采用濕法加工，加工工藝較為成熟，且設備要求不高。考慮系統(tǒng)的集成性，文中探討了光源與光電探測器的集成封裝，光源使用VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)芯片，詳細的介紹了封裝工藝，該工藝主要參照LED的封裝工藝。最后描述了位移實驗和1g靜態(tài)翻轉實驗的結果，從實驗的結果可知，基于可變衍射光光柵微加速度傳感器具有高的靈敏度，可達到約10-5-10-6g，動態(tài)范圍可設計成±20-50g，具

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