電容傳感微小孔徑測量方法的研究.pdf

1、孔徑測量是幾何量測量中的一項重要內(nèi)容，其特點是測量器具活動空間受到限制，操作調(diào)整不便，測量速度慢，特別是深小孔、盲小孔(直徑在φ3mm以下)的測量難度更大。電容傳感器是基于非接觸測量原理的一項技術，應用電容傳感器測量小孔內(nèi)徑不僅測量時無測量力的影響；而且還可以獲知深小孔、盲小孔內(nèi)任意截面的形狀誤差。但是，電容傳感微小孔徑測量方法作為一項較新技術，仍需要對整個測量系統(tǒng)進行深入研究。在本文中，首先研究電容傳感微小孔徑測量系統(tǒng)的原理，分析了傳

2、感器測頭中的保護環(huán)的最小長度b<,最小>的確定問題，提出了φ3mm左右的電容傳感器的設計與制作方法；接著基于JYC-2005型電容測微儀組建了電容傳感測孔系統(tǒng)、編寫了測量軟件，并對系統(tǒng)的誤差進行了分析，給出了,；iv31"12Ill左右測孔傳感器的標定方法；最后驗證了測孔系統(tǒng)具有穩(wěn)定的可靠性，長期測量時內(nèi)徑偏差可控制在2-3μm以下。 本文就φ3mm左右小孔內(nèi)徑的測量提出了一種成本較低廉、操作較簡便的方法，為后續(xù)研究更小孔徑的測