相位光柵的設(shè)計(jì)及其在激光束相干合成中的應(yīng)用.pdf

1、二元光學(xué)元件(DOE)在實(shí)現(xiàn)光波變換上具有許多卓越的、傳統(tǒng)光學(xué)難以具備的功能，在現(xiàn)代科技的諸多領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。本文以二元光學(xué)技術(shù)應(yīng)用于ICF系統(tǒng)中為研究背景，針對(duì)ICF對(duì)DOE的特殊需要，對(duì)用于ICF系統(tǒng)中的衍射光學(xué)元件的設(shè)計(jì)、制作以及應(yīng)用中的相關(guān)問題進(jìn)行了深入、系統(tǒng)的研究。 基于衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)的基本理論和方法，在普通Dammann光柵設(shè)計(jì)基礎(chǔ)上，提出衍射效率較高的矩形孔徑光柵、坐標(biāo)相位調(diào)制型光柵以及隨機(jī)相位型光柵等的

2、優(yōu)化方法。對(duì)在二元光學(xué)設(shè)計(jì)領(lǐng)域中必然要用到的大規(guī)模優(yōu)化算法進(jìn)行了研究，并對(duì)幾種二維相位光柵的設(shè)計(jì)結(jié)果進(jìn)行了比較，使設(shè)計(jì)的光柵兼顧 衍射效率高、光柵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和加工誤差寬容度較高等特點(diǎn)，為ICF系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)光束疊加的微光學(xué)元件的選擇和設(shè)計(jì)提供依據(jù)。 提出利用時(shí)間脈沖調(diào)制的灰度光刻技術(shù)加工相位光柵，在搭建的實(shí)驗(yàn)裝置上，利用明膠干版作為記錄材料，獲得了一次光刻制作相位光柵的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。該方法對(duì)微光學(xué)元件加工技術(shù)的發(fā)展有促進(jìn)意義。 根據(jù)ICF