硅基差分電容式加速度傳感器的研究與設(shè)計(jì).pdf

1、傳感器是MEMS技術(shù)的一個(gè)重要分支，其中的加速度傳感器在航空、航天和汽車(chē)等很多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，主要有壓阻式、電容式和壓電式三種。由于電容式加速度傳感器具有靈敏度高、噪聲性能良好、功耗低和結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)，成為研究的熱點(diǎn)。針對(duì)梳齒式電容加速度傳感器，本文在敏感元件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和系統(tǒng)建模與仿真等方面進(jìn)行了深入的研究。
　　首先，對(duì)敏感元件的位移響應(yīng)進(jìn)行了MATLAB模擬。通過(guò)敏感元件的位移響應(yīng)得出：待測(cè)加速度的頻率應(yīng)遠(yuǎn)離敏感元件的固有

2、頻率以獲得較高的靈敏度；阻尼因子的大小影響位移輸出。
　　其次，建立電容式加速度傳感器開(kāi)環(huán)系統(tǒng)和閉環(huán)系統(tǒng)的SIMULINK模型，研究不同讀出方式下的傳感器系統(tǒng)特性。閉環(huán)系統(tǒng)的穩(wěn)定性分析對(duì)阻尼因子和低頻環(huán)路增益的大小提出了要求。系統(tǒng)仿真表明，電壓輸出信號(hào)與外界加速度成正比，閉環(huán)系統(tǒng)的等效加速度信號(hào)遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于開(kāi)環(huán)系統(tǒng)。
　　然后，研究選擇差分電容的理論依據(jù)。通過(guò)詳細(xì)的理論推導(dǎo)得到，差分電容的線性度和靈敏度均優(yōu)于單電容。選定典型的差

3、分電容結(jié)構(gòu)——梳齒式結(jié)構(gòu)為敏感元件的結(jié)構(gòu)，并結(jié)合國(guó)內(nèi)的工藝水平確定結(jié)構(gòu)尺寸。
　　最后，利用ANSYS有限元軟件對(duì)梳齒式電容加速度傳感器進(jìn)行了靜力分析、模態(tài)分析和諧響應(yīng)分析，研究敏感元件的結(jié)構(gòu)尺寸對(duì)線性度、抗沖擊性、響應(yīng)頻率和機(jī)械靈敏度等性能的影響規(guī)律，為結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)提供理論參考。
　　依據(jù)本文給出的梳齒式結(jié)構(gòu)和設(shè)計(jì)參數(shù)，設(shè)計(jì)出的加速度傳感器能夠抵抗5000g的加速度沖擊，最大量程大于±70g，頻率響應(yīng)范圍為0~2000H