ECR離子源主要參數(shù)對離子束流影響的研究.pdf

1、電子回旋共振(ECR)離子源具有工作壽命長、束流強度大、性能穩(wěn)定、無極、耐腐蝕、能在低真空下工作等優(yōu)點，所以在許多領域得到廣泛應用，現(xiàn)有的一臺高產額中子發(fā)生器采用的就是ECR離子源。 ECR離子源實驗臺結構復雜，部件較多，動態(tài)參數(shù)測量困難，其參數(shù)之間又相互影響。初步實驗已證明這些因素嚴重影響了ECR離子源束流的大小和穩(wěn)定，甚至導致無束流現(xiàn)象。在初步實驗基礎上對ECR離子源部分部件進行改進；對ECR離子源主要參數(shù)(微波功率，氣體壓

2、強，磁場，等離子體密度，束流強度)進行測量，研究主要參數(shù)與離子束流之間的規(guī)律，利用得出的規(guī)律來調整ECR離子源的工作狀態(tài)，獲得穩(wěn)定，束流大，品質好的離子束流。本論文主要研究內容和成果如下： 介紹了電子回旋共振原理；ECR離子源的工作原理；低溫等離子體的產生的形式；ECR離子源實驗臺的結構。 對微波功率，真空系統(tǒng)，放電室的磁場，離子束流的測試方法進行分析；利用朗謬爾探針(發(fā)射探針和單探針結合)對ECR等離子體進行了初步的診