高阻半導體進電及振動方式對電火花加工影響研究.pdf

1、隨著社會的發(fā)展，半導體材料的應用范圍在日趨擴大。由于半導體具有脆性高、斷裂韌度低等特性，傳統(tǒng)的機械加工方法很難加工半導體材料，電火花加工是一種非接觸式加工法，對脆硬半導體的加工具有一定優(yōu)勢。本文在前人研究內容的基礎上，對高阻半導體硅的進電特性、放電加工不同狀態(tài)下的波形、不同進電方式下的銑削放電加工、工件振動式放電加工等方面進行了研究，主要內容如下：
　　 （1)在金屬功函數(shù)對金屬——半導體硅的接觸電阻影響的理論基礎上，研究了銅、

2、鈦、鐵、鋁四種金屬與半導體硅的接觸進電特性，以選擇一種合適的金屬材料作為半導體硅放電加工的進電材料。
　　 （2)從半導體硅放電加工的放電波形著手，研究其空載、正?；鸹ǚ烹姟⒍搪窢顟B(tài)下電路中的電流波形狀態(tài)，為有效控制半導體硅放電加工過程的穩(wěn)定性、提高放電加工效率尋找理論依據(jù)。
　　 （3)分別采用固定、旋轉、隨動進電方式對高阻半導體硅進行放電銑削加工實驗研究，結果表明：固定進電方式下，由于進電點生成不導電的鈍化膜，導致接

3、觸電阻不斷增加，回路中的總電阻不斷增大，放電峰值電流逐步較少，極間狀態(tài)朝著絕緣化發(fā)展，最終導致無法加工；旋轉進電方式下，由于進電電極與加工區(qū)域距離的變化導致放電回路中的體電阻不斷變化，放電峰值電流不斷變化；隨動進電方式下，放電回路中由于進電電極不斷刮除產生的鈍化膜且極間距離維持不變，因此接觸電阻和體電阻能保持始終穩(wěn)定，放電加工穩(wěn)定性較好。同時，研究了隨動進電方式下，輸入電壓、脈寬、占空比等參數(shù)對高阻半導體硅電火花銑削加工放電回路中的電流