西門子改良法生產工藝

1、西門子改良法生產工藝如下：西門子改良法生產工藝如下：這種方法的優(yōu)點是節(jié)能降耗顯著、成本低、質量好、采用綜合利用技術，對環(huán)境不產生污染，具有明顯的競爭優(yōu)勢。改良西門子工藝法生產多晶硅所用設備主要有：氯化氫合成爐，三氯氫硅沸騰床加壓合成爐，三氯氫硅水解凝膠處理系統(tǒng)，三氯氫硅粗餾、精餾塔提純系統(tǒng)，硅芯爐，節(jié)電還原爐，磷檢爐，硅棒切斷機，腐蝕、清洗、干燥、包裝系統(tǒng)裝置，還原尾氣干法回收裝置；其他包括分析、檢測儀器，控制儀表，熱能轉換站，壓縮空氣

2、站，循環(huán)水站，變配電站，凈化廠房等。（1）石英砂在電弧爐中冶煉提純到98%并生成工業(yè)硅，其化學反應SiO2C→SiCO2↑（2）為了滿足高純度的需要，必須進一步提純。把工業(yè)硅粉碎并用無水氯化氫(HCl)與之反應在一個流化床反應器中，生成擬溶解的三氯氫硅(SiHCl3)。其化學反應SiHCl→SiHCl3H2↑反應溫度為300度，該反應是放熱的。同時形成氣態(tài)混合物(Н2НС1SiНС13SiC14Si)。（3）第二步驟中產生的氣態(tài)混合物還

3、需要進一步提純，需要分解:過濾硅粉，冷凝SiНС13SiC14，而氣態(tài)Н2НС1返回到反應中或排放到大氣中。然后分解冷凝物SiНС13SiC14，凈化三氯氫硅（多級精餾）。（4）凈化后的三氯氫硅采用高溫還原工藝，以高純的SiHCl3在H2氣氛中還原沉積而生成多晶硅。其化學反應SiHCl3H2→SiHCl。多晶硅的反應容器為密封的，用電加熱硅池硅棒（直徑510毫米，長度1.52米，數(shù)量80根），在10501100度在棒上生長多晶硅，直徑可